SF6气体抽真空充气装置功能众多，可用于瓷柱式SF6断路器、互感器及其它SF6电器的安装、运行、维护时抽真空、真空度测定等。在使用SF6气体抽真空充气装置前，我们必须掌握该仪器的使用方法。
SF6气体抽真空充气装置使用方法如下：
1、本装置采用三相380V电源中线不是必须的但电源线中的接地线必须可靠接地。电气系统设置有相序保护装置三相电源相序可通过手动开关直接调整电气系统同时具有缺相保护功能可有效避免真空泵的反向运转以及所有主机的缺相运行。 
2、仔细检查被抽设备确定被抽设备内压力不大于零表压 
3、接上电源用软管将装置和被抽设备联接在接口填入尼龙密封垫圈并紧固。 
4、关闭所有阀门在开机前必须首先关闭所有阀门。 
5、打开总电源开关红灯亮。若红灯不亮说明相序反相可调整相序转换开关。电源接通后按电气箱上绿色按钮即开真空泵。观察真空泵油位油位在油标2/3附近，则可投入运行，如油位过低，可停泵加油至油标2/3处。如过高而有显著喷油可停泵放油至油标2/3处。
6、打开总阀门然后根据不同抽气管路可逐个打开该管路上阀门即对该路抽真空。
7、真空计使用 
（1）在用真空计观测真空度之前，须确认管路系统及待观测真空度之容器处于负压状态，否则易造成真空计传感器-真空规管的损坏。
（2）打开真空计电源开关，指示灯亮。注意：真空计传感器需通电充分预热后才能准确指示真空度，一般预热需3-5分钟。
（3）打开真空规管测量阀（注意打开、关闭此阀门时不应用力过大）。然后可观测系统真空度。
（4）测量结束时，切记关闭真空规管测量阀及真空计电源开关。
8、充气过程即为从气体钢瓶经软管连接至各所需充气单元。可根据不同单元选择不同球阀开启后直接充气用户需在钢瓶后配置减压器。
注意：抽真空结束后在充气前应先确认真空规管测量阀处于关闭状态。
9、关机
（1）关闭所有球阀及真空规管测量阀。（注意充气或不用时需将该阀门关闭否则易造成真空计传感器-真空规管的损坏）。
（2）关闭真空计电源开关。
（3）按电器箱上红色按钮关真空泵再关闭总电源开关。